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磁控溅射镀膜的产品特点：
1.真空系统
真空腔体由标准的304不锈钢焊接而成，内部形状为长方体，其尺寸为600mm*600mm*700mm，电解抛光处理，减少内部材料放气现象。真空腔体上安装有电极，基片系统，真空系统，气路系统等部件；真空腔体配备两个可以打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。腔体侧面装有抽气主管道，分子泵，插板阀，真空计，充气阀，角阀等真空配件，在腔体洁净，无污染的情况下，极限真空5*10-5pa，四十分钟可达到大气至5*10-4pa，系统停泵关机12小时后，真空度≤5Pa。该系统可以在不停分子泵的前提下，对腔体内部材料添加、更换，也可以取放基片。
2.样品系统
该设备的样品架采用嵌入式结构，可搭载一片210mm*210mm基片，向下兼容，也可以搭载多片定制数量小基片；基片带冷却系统；掩模版到基片距离小于0.1mm。
磁控溅射镀膜
http://www.abner-nano.com/?list_280/941.html
https://www.chem17.com/st616368/product_38505120.html
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